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MEMS谐振器和振荡器关键技术研究

2022-05-26 16:00 浏览次数:

主讲人:吴国强 武汉大学工业科学研究院

Email :wuguoqiang@whu.edu.cn

时 间:2022年6月2日14:00-16:00

会议地点:物电院A112

联系人:徐思行

报告摘要

时钟是数字电路的心脏,为电路系统提供时间参考和频率基准。近年来,MEMS(Microelectromechanical Systems, 微电子机械系统)谐振器以其体积小、失效率低、与集成电路制造工艺兼容好等优点,已成为取代传统石英晶振的最佳选择。本报告简要介绍了MEMS谐振器实用化中的关键技术,并展望了MEMS谐振器的未来发展方向,最后报告了课题组在低频率-温度漂移被动式温度补偿压电MEMS谐振器以及高频率精度微腔恒温压电MEMS谐振器研究方面的进展。

个人简介

吴国强,博士,博士生导师,武汉大学工业科学研究院教授,入选湖北省人才项目。2013年毕业于中科院上海微系统与信息技术研究所,获得工学博士学位。博士论文入选上海市优秀研究生成果(学术论文)。2014-2018年就职于新加坡科技局微电子研究院,担任研究员、项目负责人。2018年9月以武汉大学青年学术带头人身份入职武汉大学。研究方向为MEMS传感器与智能微系统。主持包含国家重点研发计划课题、国家自然科学基金、重要企业资助等多项科研项目。现已在IEEE JMEMS、IEEE EDL、IEEE TIE、APL等本领域主流期刊发表学术论文50余篇,已获授权国家发明专利18项,授权美国发明专利2项。